SEM + EDS with E-beam writer
●儀器名稱：JSM-6390 Scanning Electron Microscope + EDS with E-beam writer
●管理人：蘇東盛
●儀器簡介：
主要利用電子光學系統將電子槍產生的電子聚焦成一微小的電子束至樣品表面，並利用掃描線圈使其在樣品表面上掃描。
電子束與樣品間的交互作用會激發出各種訊號，如: 二次電子、背向散射電子及特性X光等，SEM主要就是收集二次電子的訊號來成像。由於SEM解析度高，放大倍率可達到數十萬倍以上，且景深大，主要是用來觀察樣品表面及剖面微結構，如在設備上加裝能量分散X光譜儀(Energy Dispersive Spectrometer, EDS)時，可對樣品表面同時進行微區之材料分析，包括定性、半定量之元素分析以及特定區域之Point、Line Scan、Mapping分析。
●管理人：蘇東盛
●儀器簡介：
主要利用電子光學系統將電子槍產生的電子聚焦成一微小的電子束至樣品表面，並利用掃描線圈使其在樣品表面上掃描。
電子束與樣品間的交互作用會激發出各種訊號，如: 二次電子、背向散射電子及特性X光等，SEM主要就是收集二次電子的訊號來成像。由於SEM解析度高，放大倍率可達到數十萬倍以上，且景深大，主要是用來觀察樣品表面及剖面微結構，如在設備上加裝能量分散X光譜儀(Energy Dispersive Spectrometer, EDS)時，可對樣品表面同時進行微區之材料分析，包括定性、半定量之元素分析以及特定區域之Point、Line Scan、Mapping分析。