MANLAB 嚴大任老師實驗室

●儀器名稱：快速升降溫製程(RTP)
●管理人：李璧伸
●儀器簡介：
快速熱退火(Rapid Thermal Annealing, RTA)，在石英管中通入氬氣或氮氣等氣體，用極快的的升溫和目標溫度短暫的持續時間來進行處理，可將材料表面結構重組、缺陷的減少、以及誘導材料相變的產生等，又由於升溫與持溫的時間短，故可避免不必要的擴散產生。